摘要：一种实现超声电机频率跟踪的微型装置及方法，其中，微型装置包括控制模块、电机驱动模块、阻抗匹配模块、温度传感器模块、相位检测模块和电压有效值检测模块，控制模块包括微型单片机或DSP芯片；电机驱动模块用以产生两频率、相位差和电压值均可调的方波电压信号；阻抗匹配模块采用可变电感器；温度传感模块用以实时测量电机运行过程中的温度；相位检测模块用以检测电机激励电压和采集电压之间的相位差；电压有效值检测模块用于反映电机的振动状态。本发明不仅提高了超声电机转速的稳定性，而且有益于促进超声电机的微型化进程，使得集成有该微型驱动控制装置的超声电机，有望应用于微机器人以及体内医疗等对系统尺寸有较大限制的领域。
